刀片规格：Z1: HD25 CC 4000N70，Z2: HD25 CB 3500N50
晶圆种类：
8寸IC硅晶圆，切割道含有金属，无激光烧蚀
晶 圆 厚 度：
220um
Z1轴转速：
55000rpm
Z1轴进刀速度：
60mm/s
Z2轴转速：
35000rpm
Z2轴进刀速度：
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