刀片规格：Z1: HD25 BB 3500N70，Z2: HD25 AA 4000N50
晶圆种类：
12寸 IC硅晶圆
晶圆厚度：
120um
Z1轴转速：
45000rpm
Z1轴进刀速度：
45mm/s
Z2轴转速：
35000rpm
Z2轴进刀速度：
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